新一代手動位移平臺發(fā)展前景與背景介紹

添加時(shí)間：2020-6-9 8:33:34 作者：浙江金科機(jī)械傳動有限公司

將直線超聲電機(jī)用于手動位移平臺的國家是日本。1991年， 日本Kazumasa研制了一種利用π型直線超聲電機(jī)驅(qū)動的精密X-Y工作臺[3]。該工作臺尺寸為208×208×56mm3 ，大速度為30 mm／s，大輸出力為600 gf。在驅(qū)動頻率為90 kHz時(shí)，位置精度可達(dá)0．01μm。
　日本Kyocera公司生產(chǎn)的X —y精密定位裝置系列產(chǎn)品于2000年獲得第42屆年度“十佳新產(chǎn)品”稱號，被認(rèn)為是在解決新一代超級集成電路所面臨的問題上取得的重大突破[4]。由于該產(chǎn)品能提供超精細(xì)微處理技術(shù)，也為許多新技術(shù)的發(fā)展帶來了機(jī)遇。
　手動位移平臺這個(gè)系列產(chǎn)品主要包括：超低速型和高速型。超低速型的上作速度最低可以達(dá)到10nm／s，定位精度達(dá)到或超過10nm，位置分辨率為1nm或更高；高速型的運(yùn)動速度為200mm／s或更高，速度波動小于1％，定位精度在±0．1μm。超低速類型可用于微型機(jī)械加工設(shè)備、表面分析設(shè)備和新一代高密度存儲器的生產(chǎn)設(shè)備，高速型可用于電子束發(fā)射器、電子掃描顯微鏡或探傷設(shè)備。